Meaisín Eitseála Bhíoma ian
Cur síos
Teicníc scannáin thanaí is ea eitseáil bhíoma ian (IBE) a úsáideann foinse ian chun próisis bhaint ábhar a dhéanamh ar fhoshraith. Is cineál sputtering bhíoma ian é IBE agus, cibé an n-úsáidtear é le haghaidh eitseáil réamhghlan nó le patrún, cuidíonn sé le greamaitheacht den scoth agus foirmiú beacht struchtúir 3D a chinntiú.
Is réiteach trealaimh eitseála fisiceach nanascála atá an-imbhuailte, ard-chruinneas agus an-iontaofa é an meaisín seo.
Tacaíonn cruinneas leithead nanowire agus eitseáil patrún cóimheas gné il-cineál-ard, gan a bheith teoranta ag an gcineál ábhair, eitseáil imbhuailte ard, ráta ard eitseála, agus dea-atrialltacht.
Iarratas
Grátaí pleannacha, grátálacha speisialta achair mhóra, comhpháirteanna díraonta DOE, gléasanna MEMS, ciorcaid scannáin thanaí, gairis chomhtháite fhótónacha
Gnéithe
- Tá foinse ian an chroí-chomhpháirt inrialaithe go neamhspleách.
- Ag luí le IBE agus RIBE, le modhanna oibre roghnacha.
- Oiriúnach le haghaidh eitseáil ard-chruinneas d'ábhair éagsúla, le méid leithead líne suas le 20nm.
- Cumas próiseas maith agus iontaofacht táirgthe.
- Tá ballaí bun agus taobh an ghríl SiO/Si díreach.
- Ligeann sé fuinneamh bíoma agus flosc ian a rialú go neamhspleách.
- Tarlaíonn an próiseas i dtimpeallacht oibre ísealbhrú.
- Táirgeann eitseáil anisotrópach rialaithe.
- Soláthraíonn sé modhanna chun gach ábhar atá ar eolas a eitseáil.
- Ligeann sé rialú próifíle dronuilleach a bhuíochas d’uillinn léasa eitse inathraithe i gcoibhneas leis an dromchla samplach/masc.
- Ceadaíonn sé rialú próifíle/taobhbhalla agus múnlú gné.
- Cumasaíonn cumais gháis imoibríocha rátaí eitseála níos airde agus eitseáil níos airde d'ábhair éagsúla trí speicis imoibríocha.
Paraiméadair Theicniúla
|
Méid an tsubstráit inetchable |
6 orlach |
|
Comhionannas eitseála |
±5% |
|
Ábhar inetchable |
SiO2, SiNx, Sapphire, Diamond, niobate litiam, ocsaíd miotail, etc. |
|
Gáis ar fáil |
N2, O2, Ar, Fluairín-bhunaithe nó gás measctha |
|
Foinse Ion RF |
Cumhacht FR: 1KW, fuinneamh bhíoma ian: 1000eV, sruth bhíoma ian: 1000mA |
Clibeanna Te: meaisín eitseála bhíoma ian, monaróirí meaisín eitseála bhíoma ian tSín, monarcha
